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独立式高温超导薄膜的制备方法

1048   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:48:48
本发明涉及一种独立式高温超导薄膜的制备方法，具体包括以下步骤：(1)取衬底，在衬底上采用Sr3Al2O6陶瓷靶材沉积牺牲层，所述牺牲层的材质为Sr3Al2O6；(2)采用GdBa2Cu3O7陶瓷靶材继续在牺牲层上沉积高温超导薄膜，得到衬底/SAO/GBCO复合结构，所述高温超导薄膜的材质为GdBa2Cu3O7‑x；(3)沉积完成后，将步骤(2)得到的衬底/SAO/GBCO复合结构置于纯氧中进行吸氧处理，使高温超导薄膜充分吸氧；(4)吸氧完成后，取出衬底/SAO/GBCO复合结构浸入水中，待牺牲层溶解后高温超导薄膜从衬底上释放，即得到独立式高温超导薄膜。与现有技术相比，本发明制得的高温超导薄膜不仅为独立式且结构良好，有机会结合到各种复合材料结构中，拓展了应用范围，降低了应用成本。
声明：
“独立式高温超导薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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