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用于石墨烯生长的工艺腔

1007   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:48:45
本发明公开了一种用于石墨烯生长的工艺腔，用于生产石墨烯薄膜，包括腔体，所述腔体的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽，每个所述环形安装槽中均设有耐高温碳碳材料圆筒。本发明中，由于腔体的上端和下端管壁安装了耐高温碳碳材料圆筒，碳碳材料容易吸附铜及黑色炭残留物，腔体长时间使用后铜及黑色炭残留物聚集在耐高温碳碳材料圆筒上，当腔体使用40天至50天后，拆掉耐高温碳碳材料圆筒，安装新的耐高温碳碳复合材料圆筒，工艺腔可以恢复生产，工艺腔的清洗间隔周期延长，清洗过程时间缩短。
声明：
“用于石墨烯生长的工艺腔” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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