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沉积结晶二氧化钛纳米颗粒和薄膜的方法

864   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:46:48
一种一步式和室温处理工艺，利用超快脉冲激光烧蚀氧化钛或金属钛靶将金 属氧化物，如结晶二氧化钛(TiO2)的纳米颗粒或纳米复合材料(纳米颗粒组合的)薄 膜沉积在基片表面上。所述系统包括脉冲激光，它的脉冲持续时间范围从几飞秒 至几十皮秒；光学设置，用于处理激光束，使得激光束以适当的平均能量密度和 适当的能量密度分布聚焦在靶表面上；和真空腔，其中安装有靶和基片，并且在 其中可适当调节背景气体和它们的压强。
声明：
“沉积结晶二氧化钛纳米颗粒和薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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