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Cu-Ta合金及其制备方法

745   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:46:47
本发明公开了一种Cu‑Ta合金及其制备方法，Cu‑Ta合金由以下成分组成，Ta原子百分比1.0～35.0，其余为Cu。制备方法具体步骤如下：步骤1：首先对硅基体表面进行超声清洗并烘干；步骤2：将基盘送入磁控溅射镀膜室抽真空；步骤3：采用直流电源共溅射制备Cu‑Ta合金；步骤4：待样品在真空室充分冷却后退出。本发明能够避免材料中合金元素分布不均匀的出现，根据成分不同，所得合金为纳米晶与非晶的复合材料，有效改善了合金材料的综合力学性能。
声明：
“Cu-Ta合金及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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