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大功率芯片散热装置制作方法

885   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:45:53
本发明涉及微电子散热领域，尤其是一种大功率芯片散热装置制作方法。本发明所要解决的技术问题是：针对现有技术存在的大功率芯片高热流密度、散热困难的问题，提供一种大功率芯片散热装置制作方法。本发明采用了高导热金刚石铜复合材料作为大功率半导体散热热沉，同时在金刚石铜热沉上设计微流通道，并通过液体相变层，采用焊接技术形成蒸汽腔，然后抽真空，注入工作介质，最后收口，然后通过大功率芯片直接焊接在带有蒸汽空腔的金刚石铜载体上，利用金刚石铜高导热率和液体相变散热，提高大功率芯片的散热效率。
声明：
“大功率芯片散热装置制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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