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基于ZnS·SiO2的双向自限流忆阻器及其制备方法

885   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:45:52
本发明公开了一种基于ZnS·SiO2的双向自限流忆阻器件及其制备方法,属于集成微电子技术领域;双向自限流忆阻器件包括:上电极、功能层和下电极,功能层由ZnS和SiO2复合形成单层复合结构ZnS·SiO2;单层复合结构ZnS·SiO2中ZnS和SiO2的复合比例满足以下要求:ZnS的成分大于或等于SiO2。本发明通过对该忆阻器中功能层进行改进,利用ZnS和SiO2复合材料作为忆阻器单元的阻变功能层,导电丝会沿着ZnS的晶界生长,从而降低导电丝生长的随机性,起到定向诱导导电丝生长的作用,提高器件的高低阻态稳定性和操作电压的一致性。同时,ZnS和SiO2的复合会产生一个额外的接触电阻,起到外接串联电阻的作用,实现双向自限流。
声明:
“基于ZnS·SiO2的双向自限流忆阻器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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