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基于WO3的无线无源H2气体传感器及其制备方法

940   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:45:52
本发明公开了一种基于WO3的无线无源H2气体传感器及其制备方法，该气体传感器包括：陶瓷基底以及印刷于陶瓷基底上的电感线圈与复合气敏电阻，电感线圈的外端经陶瓷基底通孔内填充的银浆与复合气敏电阻一端的连接，内端与复合气敏电阻的另一端相连，构成LR敏感回路；陶瓷基底以氧化铝生瓷带为材料，采用HTCC工艺制备，电感线圈以Ag为浆料，采用丝网印刷工艺制备，复合气敏电阻采用Pt‑WO3复合材料，由磁控溅射工艺制备。本发明的气体传感器利用无线非接触的测量方法，通过分析随电阻变化的Q值，即可准确实现低温条件下待测气体H2的检测，采用成熟的丝网印刷和磁控溅射制备工艺，具有加工简便，成本低廉等优点。
声明：
“基于WO3的无线无源H2气体传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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