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垂直型磁电阻元件及其制造方法

965   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:47
本发明提供了一种磁电阻元件，依次包括种子层、磁固定层、势垒层、磁记忆层和覆盖层。其中磁固定层的磁化方向不变且磁各向异性垂直于层表面，磁固定层又细分为具有面心立方晶格结构的磁稳定层，晶格转化结合层和磁参考层。磁采用铁钴硼复合材料，且其磁激化方向可变并垂直于层表面。势垒层位于磁参考层和磁记忆层之间，是一种氧化膜。种子层材料具有帮助磁稳定层形成热稳定的面心立方晶格结构的功能。高温退火后磁参考层和磁记忆层中的铁钴硼从非晶态转变为体心立方的晶态结构。通过引入晶格转化结合层将具有面心立方晶格结构的磁稳定层与上面具有体心立方结构的铁钴硼参考层有机结合起来。本发明还提供了上述磁电阻元件的制备工艺。
声明：
“垂直型磁电阻元件及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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