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基于气相沉积法制备大面积超平NiO薄膜的方法

729   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:47
一种基于气相沉积法制备大面积超平NiO薄膜的方法，属于有机无机复合材料和光电材料技术领域。通过真空蒸镀系统，在基底上气相沉积一层金属Ni，经由高温氧化制备了致密、平整的NiO薄膜，此薄膜具有良好的p型半导体特性。相比旋涂法制备的NiO薄膜，气相沉积的大面积NiO表面更加致密平整，粗糙度大大降低，更有利于NiO对空穴的抽取，促进高效的电荷分离与传输。该工作为制备大面积均匀致密的NiO薄膜提供了一种全新解决方案。
声明：
“基于气相沉积法制备大面积超平NiO薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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