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结构功能一体化柔性压力传感器及其制作方法

977   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:46
本发明公开了一种结构功能一体化柔性压力传感器及其制作方法，包括柔性基底，柔性基底内设有空间互联导电网络；液态金属或液态金属复合材料，填充在空间互联导电网络中；两个电极，嵌入柔性基底并分别连接空间互联导电网络的上层和下层。制备方法如下：根据压力范围设计柔性压力传感器结构并建模；根据建模利用3D打印来加工制造柔性基底；将柔性基底浸入装有液态金属的容器中；将容器放入真空干燥箱中，抽真空至‑0.1MPa并保持10min‑20min；打开真空箱阀门使真空箱内部与大气压连通，并保持10min‑20min；待液态金属填充满空间互联导电网络后，将电极引线插入柔性基底的上下电极入口处并固化密封。本发明具有灵敏度高、工艺适用范围广，加工方便的优点。
声明：
“结构功能一体化柔性压力传感器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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