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多元复合碳化物涂层的制备方法

727   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:46
本发明涉及一种多元复合碳化物涂层的制备方法。它依次包括：（1）将TaCl5、HfCl4和ZrCl4混合粉末，在惰性气氛下盛装入坩埚内；（2）将基体样品放置在沉积炉支架上，并通入氩气，加热到沉积温度；（3）将盛有混合粉末的坩埚放入双温区气化炉中的低温区的升降支架上，使坩埚口部与高温区连通，设定低、高温区的加热温度，加热使混合粉末完全气化；（4）向沉积炉内通入H2、CH4，并以运载气体将完全气化后的混合气体通入沉积炉内，在常压条件下进行沉积。该制备方法能获得各组成化学计量比准确的多元复合涂层，且能保证涂层与基体材料结合紧密牢固、稳定性能优异。
声明：
“多元复合碳化物涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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