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无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法

739   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:06
本发明涉及一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法。传感器为OFET器件结构，包括硅衬底（1），二氧化硅绝缘层（2），PVP/TiO2复合材料绝缘层（3），P3HT气体敏感层（4）以及在气体敏感层上蒸镀的Ag叉指电极（5），器件通过简单的旋涂工艺进行绝缘层和气体敏感层薄膜的制备，利用真空蒸镀技术蒸镀Ag叉指电极（5），TiO2纳米粒子经过吡啶改性增加了与PVP聚合物（6）的相容性，吡啶修饰的TiO2纳米粒子（7）与PVP聚合物混合提高了绝缘层的介电常数，有利于降低器件的工作电压，从而降低器件的功耗，其次促进了气体敏感层材料P3HT的结晶，提高了传感器对气体的响应能力。该气体传感器具有灵敏度度高，在室温下工作和制备工艺简单的优点。
声明：
“无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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