本发明公开了一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置,该夹心板包含:高导磁层,包覆在高导磁层上的高导电层,设置在高导磁层和高导电层之间的高强度耐高温胶层。其中,高导磁层包含:坡莫合金;高导电层包含:铝或
铝合金。本发明的夹心板采用压敏胶粘合,降低了高导电导磁
复合材料的成本,得到的铝坡莫合金夹心板具有较好的磁导率和导电率。
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