合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 复合材料技术

> 硅基三维微电池纳米电极结构

硅基三维微电池纳米电极结构

761   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:42:51
本发明公开了一种硅基复合三维微电池纳米电极结构。该纳米电极结构包括硅纳米柱阵列以及复合于硅纳米柱外层的材料层。制作方法包括将清洗、活化处理后的硅衬底上采用旋涂法自组装单层六方密排的聚苯乙烯纳米球;将单层聚苯乙烯纳米球做为掩膜,利用掩膜和感应耦合等离子体刻蚀技术进行刻蚀;依次用有机溶剂及标准清洗硅片工艺去除掩膜及刻蚀过程中所产生的副产物;最后利用薄膜沉积、材料生长技术得到瓶状硅基复合纳米柱阵列三维电极结构。这种结构一方面可以在硅纳米柱外层沉积锂离子阻挡层,进而形成硅衬底不参与锂离子嵌入/脱出的一种三维微电池的结构支撑,另一方面形成的硅或者硅复合材料,可以作为锂离子电池的阳极材料参与电极反应。
声明:
“硅基三维微电池纳米电极结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
复合材料
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记