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制备硅-硅化铁复合纳米线的方法

1089   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:42:51
Si/β-FeSi2复合纳米结构属于复合一维半导体纳米功能材料。该复合材料是经过离子注入、高温退火、溅射Si层和化学腐蚀四大主要步骤后形成的含有纳米Si和纳米FeSi2颗粒的复合纳米线阵列。在该方法中，可以分别通过改变离子注入的剂量以及退火温度来控制β-FeSi2薄膜的厚度和β-FeSi2颗粒的粒径。具有半导体性质的Si/β-FeSi2复合纳米材料由于其优异的光电性能在新型光电器件，热电器件应用方面有着很好的发展前景，是一种环保型且极具应用前景的光电材料。
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