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基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法

597   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:42:50
本发明涉及一种基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法，首先利用磁控溅射技术制备薄膜热电器件，通过对薄膜热电器件热端封装高导热率的导热复合材料，冷端引入水凝胶作为散热器，当薄膜热电器件贴附热源进行发电时，可实现与环境之间大温差的建立；通过激光雕刻技术控制有机高分子薄膜材料微结构尺寸，采用磁控溅射技术控制Ag/Ti导电薄膜的厚度进而调控导电薄膜材料的电阻，实现高灵敏低工作电流压力传感器的组装；最后将薄膜热电器件与压力传感器进行集成后，利用具有高输出电压(15.8mV)的柔性薄膜热电器件贴于人体皮肤进行发电，并供电压力传感器，得到自供电的压力传感系统，并可用于人体脉搏的实时监测。
声明：
“基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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