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直拉法制备单晶硅所使用的坩埚

757   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:34:18
本发明公开了一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚，包括由底部与侧壁组成的坩埚本体，所述的坩埚为分段式坩埚结构，坩埚本体根据材料的不同自上到下至少分成两段，包括上层的碳-碳复合材料的侧壁和下层的石墨材料的底部，侧壁上均匀分布有多个导热孔；所述的导热孔直径为5～20mm，导热孔边界之间的距离根据不同的孔密度为10～50mm；所述侧壁上均匀分布所述导热孔的区域为距离侧壁上沿2～6cm，向下垂直方向的宽度为16～25cm，该区域侧壁的内表面平行于坩埚的中心轴。本发明所述的坩埚具有导热性好，温度控制性能好，使用寿命长，装料量大的特点。
声明：
“直拉法制备单晶硅所使用的坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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