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硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器

986   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:26:10
本发明公开了一种硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器，包括底板、弹性体、硅基MEMES压力传感器单元、磁体、磁感应线圈阵列；弹性体、硅基MEMES压力传感器单元与磁感应线圈阵列设置于底板；磁体设置于弹性体中。使用硅基MEMS测压单元，无导电复合材料的电阻蠕变和电容式测压单元寄生电容的影响，精度高、稳定性良好；磁感应线圈阵列通过电磁感应产生电信号检测切向力的方向和大小，精度高，响应快，适合于动态力测量和滑动状态的检测。
声明：
“硅基MEMS单元结合线圈阵列的柔性多模式触觉传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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