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单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构

873   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:26:09
本发明涉及坩埚法生长晶体炉子装置的改进机构,一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构,所述支撑脚为上、下两段圆柱段组成,上段为石墨段(9a),且上表面开设轴向的定位销孔,下段为绝热段(9b),且下表面轴向开设金属电极孔。所述上、下两段之间以台阶结构连接。所述绝热段的垂直中心剖面呈U字状,外侧近似L的为硬质支撑裹圈(9b1),中央为一圆柱形固化毡垫圈(9b2)。所述绝热段(9b)采用氧化锆、氧化铝、氮化铝、石英。或梯度密度碳碳复合材料。采用本发明既不影响在原先位置的安装,结构稳定、通用,支撑脚隔绝了加热器通过支撑脚对外传出的热量,节约了设备运行需要的耗电量,节电达10%以上,经济效益非常巨大。
声明：
“单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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