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用于预制体增密的沉积装置及装炉结构

689   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:26:08
本申请涉及碳碳复合材料化学气相渗积技术领域，公开了一种用于预制体增密的沉积装置及装炉结构，待增密预制体与内限流筒的侧壁之间形成限流通道，待增密预制体顶部具有过流口，在炉腔内形成自所述炉腔入口依次通向限流通道、过流口和炉腔出口的限流路径。沉积过程中炉腔内热场由外而内温度逐渐降低，而沉积速度随温度增加呈指数增加,碳源气体首先由内表面渗透至温度较高的外侧进行沉积致密化,待增密预制体内部温度不断提高,沉积时沉积面不断向内推进,整个待增密预制体被完全沉积，避免待增密预制体表面结壳，待增密制体增密密度均匀。此外，通过上述限流路径可有效压缩碳源气体活动空间，增加活性基团碰撞几率，从而大大提升沉积效率。
声明：
“用于预制体增密的沉积装置及装炉结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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