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化学气相沉积装置

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:23:10
本实用新型提供了一种化学气相沉积装置，包括：化学气相沉积室，气体供给系统；反应气体导流装置，与气体供给系统和化学气相沉积室分别连通；包括导气管，所述导气管包括进气导管和出气导管；所述出气导管位于样品放置室中，所述出气导管沿气流方向的末端封闭，管壁上设置导气孔；等离子体发生器和/或加热装置；真空系统，与化学气相沉积室连通。所述化学气相沉积装置能够很好的将反应气均匀的扩散到样品上，提高复合材料的均匀性，同时有效提升反应气的利用率，有利于提高生产效率、降低成本，利用其制备得到的包覆硅的碳颗粒复合材料具有高容量、高首次效率及长寿命等特点。
声明：
“化学气相沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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