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气相沉积炉底部加热装置

964   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:23:09
本实用新型是一种气相沉积炉底部加热装置，它包括开设在气相沉积炉的炉底上并且上端开口的凹槽，在该凹槽内安装有石墨加热器；凹槽的上开口端安装有用于从上方覆盖石墨加热器的碳碳复合材料板，该碳碳复合材料板上开设有若干个均布的散热通孔。实现了对炉腔的侧向加热和底部加热，炉腔内升温更快，并更快达到炉内温度分布均匀一致。
声明：
“气相沉积炉底部加热装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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