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竖向连续式气相沉积炉

765   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:23:09
本实用新型公开了一种竖向连续式气相沉积炉，涉及复合材料制造设备领域。本实用新型沉积炉内竖直方向依次设置有准备区、沉积区和冷却区，沉积炉顶部设置有通过吊绳与炉内的预制体相连的升降机构；沉积区内安装有加热器或感应线圈；准备区、沉积区和冷却区外部分别安装有第一密封门、第二密封门、第三密封门；法兰盘内以及沉积炉内位于沉积区的内壁上设置有循环水冷层。本实用新型能够做到同一个沉积炉内对单个制备件在三个区内分别进行连续性的进行预热、沉积和冷却，并依次连续性的转换，大大加速了单个沉积炉的复合材料的制备效率，降低了反复升降温所带来的的能量损耗，节约了时间，方便进料和出料动作，可控性强，沉积效率高。
声明：
“竖向连续式气相沉积炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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