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用于重掺硅单晶制造的热系统

772   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:23:08
本实用新型涉及一种用于重掺硅单晶制造的热系统,包括上保温筒、下保温筒、底盘保温层、支撑盖、大盖和导流筒构成,上保温筒、下保温筒和底盘保温层采用新型复合隔热材料;复合隔热材料为碳毡和石墨硬毡层叠而成的多层材料,且在其内表面涂覆有一层光亮的钼金属反射层;支撑盖的材料为石墨硬毡;大盖由石墨和石墨硬毡的复合材料制成,其复合材料下层为石墨硬毡,本实用新型解决了重掺硅单晶拉制过程中由于温度波动而引起的组分过冷和断苞难题,提高了重掺砷单晶轴向电阻率均匀性。
声明：
“用于重掺硅单晶制造的热系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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