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化学气相沉积炉用沉积室

1085   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:21:44
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉用沉积室，属于炭/炭复合材料制造技术领域，其包括沉积室本体及上盖板，其特征在于，所述沉积室本体为圆筒状结构；所述上盖板设置在所述沉积室本体的顶部，且与所述沉积室本体密闭连接，所述上盖板上设有排气孔；所述沉积室本体的套装在发热体内，所述沉积室本体设置在沉积炉底座上。所述沉积室本体采用石墨或炭/炭复合材料材质。本实用新型结构简单，避免了工作气体与石墨加热器的接触，增加了工作气体的利用率，同时减少了热解炭在石墨加热器上以及引电连接部位上的不断生长而造成的设备短路等故障，降低了设备检修维护工作量。
声明：
“化学气相沉积炉用沉积室” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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