本实用新型提供了一种用于
多晶硅铸锭炉的侧面加热器,所包括的边部加热板、角部加热板以及连接板均为碳‑碳
复合材料材质;由于碳‑碳复合材料本身密度比石墨小,所以本申请中的侧面加热器的重量比现有石墨材质的侧面加热器重量减轻了60%;且强度、韧性等力学性能比石墨更好,使得本申请中的侧面加热器比现有的石墨材质的侧面加热器更耐用,使用寿命更长;且在实现同等电加热功率的情况下,本申请中的侧面加热器的壁厚只需要5‑6mm,比石墨材质的侧面加热器的壁厚减薄了10mm以上,从而可以扩大多晶硅铸锭炉内热场的径向尺寸。
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我是此专利(论文)的发明人(作者)