本实用新型公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置。其包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管,其特点是在进气管的上部设有导流罩,导流罩呈下部开口的圆桶形结构,导流罩的顶部或侧壁设有通孔。所述进气管的上部封闭,侧壁均布有出气孔。所述导流罩由炭/炭
复合材料制成。采用本实用新型的进气分布装置,并配合工件在沉积炉中的合理排放,可以方便的实现内进气压差法或外进气压差法生产工艺,不仅可提高CVI速率,还可大大缩短CVI周期,而且材料密度梯度少,材质均匀,尤其适合于炭/炭复合材料飞机刹车盘的制造。
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