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化学气相沉积炉进气分布装置

1070   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:21:43
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置。其包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管，其特点是在进气管的上部设有导流罩，导流罩呈下部开口的圆桶形结构，导流罩的顶部或侧壁设有通孔。所述进气管的上部封闭，侧壁均布有出气孔。所述导流罩由炭/炭复合材料制成。采用本实用新型的进气分布装置，并配合工件在沉积炉中的合理排放，可以方便的实现内进气压差法或外进气压差法生产工艺，不仅可提高CVI速率，还可大大缩短CVI周期，而且材料密度梯度少，材质均匀，尤其适合于炭/炭复合材料飞机刹车盘的制造。
声明：
“化学气相沉积炉进气分布装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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