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柔性气敏传感器及其制备方法

825   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:20:39
本发明公开了一种柔性气敏传感器，包括依次叠层设置的衬底、第一电极、第一介电层、气体敏感材料层、第二介电层以及第二电极；所述衬底为柔性衬底，所述气体敏感材料为碳纳米管材料或其功能化复合材料、石墨烯纳米材料或其功能化复合材料。本发明还公开了如上所述的柔性气敏传感器的制备方法，应用印刷电子工艺在所述柔性衬底上依次制备第一电极、第一介电层、气体敏感材料层、第二介电层以及第二电极。本发明提供的柔性气敏传感器结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、成本较低。
声明：
“柔性气敏传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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