一种高可靠性的压电半导体及其制备方法,所述压电半导体包括压电陶瓷、聚合物、叉指电极,所述压电陶瓷先通过切割机切割成阵列结构,然后通过聚合物对阵列结构进行填充并且同时将其置于呈镜面对称的2片叉指电极之间进行封装,得到压电
复合材料,所述压电复合材料进行极化处理后得到压电半导体;所述压电陶瓷为(0.994‑x)(K0.4Na0.6)Nb0.965Sb0.04503‑0.006BiFe03‑xBi0.5Na0.5ZrO3陶瓷,其中,x=0.01‑0.05;所述聚合物为Dp‑460环氧AB胶、JH灌浆树脂、Adbest 360l、电子灌封胶GF‑5中的一种。本发明所述的高可靠性的压电半导体及其制备方法,结构设计合理,制备方法简单,厚度薄、重量轻、柔韧度高,由叉指电极、聚合物填充的压电陶瓷、叉指电极组成的压电半导体,具有更好的温度稳定性以及热老化稳定性和经时稳定性,应用前景广泛。
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