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半导体结构及其制造方法

839   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:16:24
本发明实施例提供一种半导体结构及其制造方法。半导体结构包含一基板以及位于基板上的晶种层，基板包含基材和复合材料层密封(encapsulate)基材。上述半导体结构亦包含位于晶种层上的外延层。上述半导体结构还包含位于外延层上的半导体元件，以及位于外延层上且覆盖半导体元件的层间介电层。上述半导体结构更包含一贯孔结构，至少穿过基板的复合材料层且接触基材，提升半导体元件的电性表现。
声明：
“半导体结构及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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