本发明属于无机化合物
半导体材料领域,特别涉及一种利用
碳纳米管高效制备氮化镓纳米晶体的方法。首先将金属镓盐与酸化碳纳米管研磨混合均匀,然后将混合物加入到水与多元醇配制的溶液中,加热条件下超声分散,将过滤、干燥后的混合物放入管式炉中,300~500℃的空气氛围下分解得到多孔氧化镓和碳纳米管的
复合材料;向管式炉中通入保护氮气,升温至750~1000℃,将氮气换为氨气反应40~80min,停止通氨气在氮气氛围中冷却至室温,得到淡黄色氮化镓纳米晶体。本发明利用多孔氧化镓和碳纳米管的复合材料的多孔性增大了与NH3的接触面积,使NH3能够扩散进入氧化镓颗粒内部进行氮化,加快反应速率,降低反应温度,制备的氮化镓纳米晶体产量高、纯度高。
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