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在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法

1046   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:12:18
一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法，涉及一种复合材料表面处理。在金刚石/铜复合基体表面磁控溅射沉积金属Mo过渡层；在金属Mo过渡层上反应溅射沉积AlN薄膜；在AlN薄膜上沉积BN抗氧化保护层。在经过离子源轰击清洗的金刚石/铜复合基体表面，先沉积金属Mo过渡层，以缓解基体与涂层热膨胀系数失陪问题，并增强膜-基结合强度；然后采用反应磁控溅射方法沉积AlN薄膜；最后沉积一层具有高热导率的BN抗氧化保护层，提高涂层的抗氧化性能。可在金刚石/铜复合基体表面制备具有高绝缘性、低相对介电系数、低介电损耗、高导热率，且结合良好、性能稳定的Mo/AlN/BN涂层。
声明：
“在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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