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用于衬底的热处理的装置、用于该装置的载体和衬底支撑元件

684   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:12:17
用于衬底的热处理的已知装置具有加热设备和设有用于衬底的支撑表面的载体。在已知装置的基础上，根据本发明而建议一种准许高衬底吞吐量的装置，因为载体的至少部分由包括无定形基质成分和以半导体材料的形式的附加成分的复合材料产生，其中将作为加热设备的部分并且由当电流经过它时生成热量的导电电阻材料制成的导体路径施加于复合材料的表面。
声明：
“用于衬底的热处理的装置、用于该装置的载体和衬底支撑元件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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