一种用于等离子体加工设备中的淋浴头电极包括位于电极板和背衬板的相对表面之间的界面胶。所述界面胶在因热膨胀系数不一致而造成热循环时产生的横向位移过程中,保持导热性能。所述界面胶包括诸如填充有
氧化铝微粒的有机硅基
复合材料。所述界面胶能够适应不规则形状特征并且使匹配表面间的表面接触面积最大化。所述界面胶可以预置至消耗型上部电极上。
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