本发明公开了一种基于多孔衬底的电阻式NO2气体传感器,包括衬底,衬底上喷涂有气敏材料,气敏材料为RGO?SnO2
复合材料;衬底以硅片作为基片,基片上表面经过刻蚀形成具有微孔阵列的凹凸面;基片的上表面及下表面均热氧化生长有SiO2绝缘层;气敏材料均匀喷涂在所述基片上表面的SiO2绝缘层上形成气敏薄膜。还公开了该传感器的制备方法 : 制备RGO?SnO2复合材料溶液作为气敏材料;制备衬底:选取硅片作为基片,在其上表面进行刻蚀,形成具有微孔阵列的凹凸面,然后在基片的上、下表面均热氧化生成SiO2绝缘层,清洗吹干后得到衬底;将气敏材料喷涂到衬底上表面的SiO2绝缘层上,形成气敏薄膜。该传感器能在常温下工作,增强对低浓度NO2的响应性能。该制备方法步骤简单、成本较低。
声明:
“基于多孔衬底的电阻式NO2气体传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)