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碳化硅晶体生长炉的高寿命保温系统

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:07:00
本发明涉及一种碳化硅晶体生长炉的高寿命保温系统，在软/硬毡复合保温的基础上，创新性的选用C/C复合材料作为最内层保温材料，利用其力学特性随温度升高而增大、线膨胀系数小、耐烧蚀性能优异、损伤容限高、高温下不发生粘接的优良特性，采用厚0.5mm的圆筒，上下端进行切断处理，每周两个断口，断口宽度1~1.5mm），避免了闭合回路的形成，由于C/C复合材料极小的线膨胀系数，在高温下断口无法闭合，实现了对交变磁场穿透的低阻碍。充分降低热腐蚀、热冲击、化学腐蚀等对其外侧各层保温的伤害，提高保温整体寿命与稳定性，可将保温系统稳定期由先前的800小时提高到1500小时以上，且只需更换最内层保温软毡即可恢复稳定状态，整体寿命延长1倍以上。
声明：
“碳化硅晶体生长炉的高寿命保温系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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