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Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法

978   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:05:11
本发明公开了一种Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法，从下至上依次包括Cu基底、金属过渡层和CVD金刚石薄膜，金属过渡层的表面静电组装有金刚石纳米颗粒，金刚石纳米颗粒呈球状结构，平均粒径为2～6nm。本发明采用高热导率的金刚石做热沉，散热效果优于散热效果优于Ag、Cu、Al等传统热沉片；在Cu基底表面静电组装金刚石纳米颗粒，大大提高了金刚石的形核密度；CVD金刚石薄膜在Cu基底表面连续生长，形成连续横向散热通道，实现了金刚石并联结构铜基复合材料，其热导率要优于传统的金刚石粉体颗粒/铜基复合材料形成的串连结构的导热率。
声明：
“Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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