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组合式坩埚

618   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:04:14
本实用新型涉及一种组合式坩埚，包括由炭/炭复合材料制成的坩埚主体和等静压石墨材料制成的底托；所述坩埚主体底部设有开孔，所述底托是与坩埚主体的底部相配合的碗型，其边缘向坩埚主体的边缘光滑过渡，底托的底部设有与所述坩埚主体的开孔相配合的锥形台，所述底托的外侧壁与坩埚主体的内侧壁之间保持0.2-0.5mm的间隙。本实用新型性价比远大于一体的石墨坩埚，使用性能优于一体的炭/炭复合材料坩埚，这样大大降低单晶硅生产成本的同时，使得炭/炭复合材料坩埚得到了广泛的应用，具有广阔的应用前景。
声明：
“组合式坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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