合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 复合材料技术

> 静电吸盘组件和冷却系统

静电吸盘组件和冷却系统

857   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 16:58:00
提供一种用于半导体制造装置的静电吸盘组件,其可用水冷却,并且不发生穿透泄漏。通过调节Cu基复合材料中的具有大的热膨胀系数的Cu和Ni以及具有小的热膨胀系数的W和Mo的比,可以得到具有与用于静电吸盘的氧化铝材料相同的热膨胀系数的高热导材料。但是,由于该复合材料具有穿透泄漏,不能在真空系统中使用。根据本发明,通过进行锻造处理,可防止击穿泄漏。同时,通过电镀或溅射施加Ni、Cr或Cu膜可改进对冷却板来说很重要的耐腐蚀性。
登录解锁全文
声明：
“静电吸盘组件和冷却系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
复合材料
上一个：生产增强聚乙烯的纳米载体催化剂及其制备方法和应用
下一个：变体机翼蒙皮及其驱动方法

与 “静电吸盘组件和冷却系统” 相关技术

▪ 低品位锂云母焙烧压煮浸出综合法制备碳酸锂工艺
▪ 锂电池中锂回收的方法
▪ 利用MHP制备电池级硫酸锰及海绵铜的方法
▪ 基于高浓度过氧化氢的铜酸废液的回收处理工艺
▪ 从含镓铟锡废弃物中萃取分离金属的方法
▪ 自动固相萃取仪
▪ 盐湖提锂的系统及方法
▪ 改性负极材料、其制备方法及应用
▪ 全废钢电弧炉生产超低硫包晶钢连铸圆坯的方法
▪ 硅碳复合材料及制备方法、电池

相关复合材料设备推荐

全纤维式电阻炉
U型管式钛换热器
电芯激光焊接机
磨屑甩干系统螺旋上料机
卷对卷分条机
全国热门有色金属技术推荐
江苏通用技术 北京矿山技术 江苏冶金技术 北京冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪低品位锂云母焙烧压煮浸出综合法制备碳酸锂工艺
▪锂电池中锂回收的方法
▪利用MHP制备电池级硫酸锰及海绵铜的方法
▪基于高浓度过氧化氢的铜酸废液的回收处理工艺
▪从含镓铟锡废弃物中萃取分离金属的方法
▪自动固相萃取仪
▪盐湖提锂的系统及方法
▪改性负极材料、其制备方法及应用
▪全废钢电弧炉生产超低硫包晶钢连铸圆坯的方法
▪硅碳复合材料及制备方法、电池

报名参会
更多+

第六届全国火法冶金工艺技术与装备交流会
第六届全国火法冶金工艺技术与装备交流会
2025年05月23日 ~ 25日
第六届中国浮选大会
第六届中国浮选大会
2025年06月06日 ~ 08日
2025材料电子显微表征技术湘江研讨会
2025材料电子显微表征技术湘江研讨会
2025年06月06日 ~ 08日
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
2025全国有色金属材料加工与成形技术交流大会
2025年06月06日 ~ 08日
2025磷资源高值利用与新能源协同创新发展论坛
2025磷资源高值利用与新能源协同创新发展论坛
2025年06月13日 ~ 15日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:232
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:129
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:125
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:120
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:116
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:101
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:95
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:92
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:83
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:73
2025第二届全国稀有金属特种材料技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7硅羟基磁珠及其合成方法、应用
8金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记