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多叠层式纳米压电器件

942   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:55:14
本发明公开了一种多叠层式纳米压电器件，从下往上依次包括聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I、氧化锌纳米线阵列I、掺杂ZnO纳米颗粒PVDF纤维薄膜层、氧化锌纳米线阵列II和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II；所述聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II的一侧分别连接有一ITO栅电极，所述ITO栅电极上设有high‑k介质层。本发明具备良好的压电性能，结构稳定，体积小。
声明：
“多叠层式纳米压电器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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