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具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚

1039   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:53:49
本发明属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域，具体涉及一种具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚。所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内外表面的碳化硅/硅复合陶瓷层，或所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅/硅复合陶瓷层，所述碳化硅/硅复合陶瓷层是由碳化硅和硅彼此镶嵌混合而组成。本发明通过制备工艺与坩埚结构的优化匹配；得到了性能优良、使用寿命长久的产品。本发明制备工艺可控，便于大规模工业化应用。
声明：
“具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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