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多元混合涂层用高强韧铝基复合靶材及其制备方法

859   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:50:22
本发明公开了一种多元混合涂层用高强韧铝基复合靶材及其制备方法，靶材结构包括铝基复合材料以及铝制背板，铝基复合材料包括基体铝粉和均匀分布于基体铝粉中的颗粒状的二硼化铬、铬和钨粉；铝基复合材料成分组成按质量百分比计包括：二硼化铬10％～20％，铬30％～40％，钨1％～10％，余量为铝。采用本发明，可大幅降低铝基复合材料的制备温度，有效避免了脆性金属间化合物的生成，保证了铝基复合材料的高强韧性和高热导率，可显著提高镀膜质量。同时，铝基复合材料及铝制背板复合结构可进一步提高靶材的塑性和导热特性，显著提升多元混合涂层用靶材的镀膜性能和使用寿命。
声明：
“多元混合涂层用高强韧铝基复合靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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