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等离子体刻蚀装置及其边缘环

654   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:50:20
本发明提供一种等离子体刻蚀装置及其边缘环，边缘环采用复合材料，复合材料包括第一材料及位于第一材料中的第二材料，以通过第二材料减少边缘环表面积累的电荷量；本发明通过宽禁带复合材料，可提高电荷迁移速率，减少边缘环表面积累的电荷量；通过高导电率复合材料，可及时引流电荷，以降低静电吸附作用力，减弱边缘环表面吸附作用，减少边缘环表面积累的电荷量；通过P型复合材料或N型复合材料，可在外电场的作用下，使得边缘环表面的电荷与副产物之间形成同种电荷的排斥，以减少边缘环表面积累的电荷量；及时排出的副产物可减少清洗反应腔的频率，提高产能；降低刻蚀工艺中产生的缺陷，提升良率。
声明：
“等离子体刻蚀装置及其边缘环” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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