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高织构热解碳薄膜的快速制备方法

961   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:47:18
本发明公开了一种高织构热解碳薄膜快速制备的方法，包括下述步骤：(1)将密度为1.85～1.90g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；(2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料靶材表面保持垂直；(3)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度≥2000℃热壁上着床、生长, 制备出高织构热解碳薄膜。本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的生长，使热解碳薄膜的生长速率达到25～30μm/s，比流态化床工艺的2×10-2μm/s提高3个数量级。
声明：
“高织构热解碳薄膜的快速制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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