本发明的目的是提供磁控溅射制备基于 Ti6Al4V表面 HA+ZrO2+Y2O3生物复合薄膜人 工骨种植体的方法。通过 HA+ZrO2+Y2O3复合靶材制备、 Ti6Al4V基材表面活化处理,再将HA复合靶材和 Ti6Al4V基材分别置入主溅射室和进样室,合理控制磁控溅射工 艺参数进行溅射,溅射后从主溅射室取出试样,并在进样室进 行后处理,得到基于 Ti6Al4V表面HA复合生物薄膜人工骨种植体。本发明与现有制 备技术相比较,优点如下: HA+ZrO2+Y2O3生物复合薄膜与 基材附着强度高,可达60~100MPa; Ti6Al4V基材温升低,膜层成分均匀稳定,一般不存在HA的分 解;通过磁控溅射工艺参数调整,可以使HA复合生物薄膜梯 度变化,而且HA生物复合薄膜表面呈现10%~30%孔隙,有 助于缺损骨组织的修复和重建;成本较低,膜层较薄,厚度为 2~5um,所用HA复合粉体相对较少。
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