本发明涉及坩埚制备技术领域,公开了一种碳/碳/碳化硅
复合材料坩埚的制备方法,包括如下步骤:A)将
碳纤维平纹布、碳纤维网胎依次交替叠加在芯模上,当达到预定厚度时,通过针刺缝合工艺制成坩埚预制体;B)以丙烯为碳源气体,以氩气为载气,采用化学气相沉积工艺在预制体上进行沉积增密,再进行重复的浸渍‑高温裂解操作,制备成预定密度的坩埚坯体;C)对坩埚坯体进行机械加工,制成坩埚制品;D)对坩埚制品进行气相渗硅,以形成致密的碳化硅涂层,制备成得坩埚成品。该方法充分利用了每种工艺填充预制体内部孔隙的优点,而且使坩埚制品的表面形成致密的碳化硅涂层,能够有效抑制氧化侵蚀,大幅度提高了坩埚的使用寿命。
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