一种硅晶体生长用碳碳
复合材料埚帮,在埚帮内侧配设有与其内径壁面相匹配的内筒,所述内筒靠近所述埚帮直壁部顶端设置,能够在拉晶时与所述埚帮内径壁面紧密贴合,并可在拉晶结束后从所述埚帮顶部取出以使石英坩埚从所述埚帮中无卡顿取出。本实用新型在原埚帮内侧加设可拆卸的内筒,进而在取出石英坩埚的过程中,上部不受阻力,可整体方便取出,可有效减少操作时间和后期处理时间;同时在内筒上设置排气孔,使得在石英坩埚和埚帮之间产生的气体得到及时排除,从而避免了石英坩埚鼓包的问题,维持正常拉晶,避免安全风险和成本损失;该内筒可定期更换,可有效提高埚帮的寿命,降低生产成本。
声明:
“硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)