本发明涉及一种高介电常数的
复合材料以及以该材料为介电层的有机薄膜晶体管的制备方法。通过溶胶‑凝胶法,让含端基的
硅烷偶联剂在催化剂作用下水解形成含功能端基的硅溶胶,再与有机聚合物交联形成复合溶胶,作为有机薄膜晶体管介电层的材料。再用旋涂、浸涂、喷墨打印、3D打印等溶液法形成薄膜,经固化后形成介电层;然后再分别制备半导体层、电极层,制得有机薄膜晶体管器件。本发明中基于复合介电材料的有机薄膜晶体管其迁移率达5cm
2/V·s,远超以SiO
2为介电层的迁移率,并具有低阈值电压,无迟滞效应等特点。相对于SiO
2热氧化等传统制备工艺,该方法具有工艺简单、成本低、可大面积制备等优点,具有很好的市场应用价值。
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