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改进式的复合材料气相沉积炉结构

1045   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:38:02
本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及改进式的复合材料气相沉积炉结构，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，且加热室与沉积室之间通过通道保持连通，所述炉体的顶部通口处设置有对开式的密封盖，在两边的密封盖的底部对应位置处分别铰接有活动臂，活动臂的下端均通过连接杆连接有框架，框架沿沉积室的内壁上下滑动，框架内转动连接有安装板，安装板的板面上设置有吸附晶圆片用的吸盘，本实用新型解决了气相沉积后的晶圆不方便拿取的问题，本沉积炉的提出，可升降式的框架方便，配合设置在框架内侧可旋转的安装板设计可以方便人们快速地放置或者拿取晶圆，操作便捷，有利于提升工作效率。
声明：
“改进式的复合材料气相沉积炉结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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