本发明提供了一种炭/炭
复合材料坩埚的制备方法,包括以下步骤:将
碳纤维平纹布、碳纤维网胎依次交替叠加多层并通过针刺使之复合得到预制体;以天然气为原料,氢气或惰性气体为载气,对预制体进行化学气相沉积;对化学气相沉积后的预制体进行高温处理,然后机械加工至坩埚的尺寸得到预制坩埚;对预制坩埚再次进行化学气相沉积得到坩埚。该制备方法在第一次化学气相沉积过程中不易有炭黑生成;通过调整天然气与氢气或惰性气体之间的体积比,能够使得在第二次化学气相沉积中热解炭快速沉积,在预制坩埚表面形成致密的涂层,同时热解炭分子间结合力使其强度更高,从而使涂层不易受到硅蒸汽的腐蚀而脱落。
声明:
“炭/炭复合材料坩埚的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)